纯蒸汽通常是通过纯蒸汽发生器或多效蒸馏水机的第一效蒸发器从经过净化的水生产的。在凝结纯蒸汽时，必须符合WFI的要求。软化水、去离子水和纯化水都可以作为纯蒸汽发生器的原水。经过蒸发、分离（去除颗粒和细菌内毒素等污染物），它们在一定压力下被输送到使用点。
这一系列设备可用于对制药设备和各种工艺生产线（管道、罐等）进行灭菌和消毒。
材料控制：蒸发器、分离器等均采用不锈钢316L材料，全自动焊接；
表面处理：内表面电化学抛光Ra ＜ 0.4，外表面机械抛光Ra ＜ 0.6，有效保证不锈钢表面光滑度；
控制系统：全阶段自动控制，24小时自动运行；